Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
реактор плазмохимический
Документи:
- Васильев, А. А. Исследование характеристик плазмохимического реактора с плоским индуктором [Текст] / А. А. Васильев // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 3. – С. 7-11.
- Васильева, Т. М. Экспериментальный комплекс для исследования рабочих процессов в пучково-плазменных реакторах биомедицинского назначения [Текст] / Т. М. Васильева, Д. В. Баяндина // Приборы и техника эксперимента. – 2010. – № 2. – С. 142-150.
- Влияние пераметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе "Алмаз" для синтеза углеродных алмазоподобных пленок [Текст] / В. В. Гладковский, Е. Г. Костин, Б. П. Полозов [и др.] // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2014. – № 5-6. – С. 39-45.
- Гладковський, В. В. Исследование влияние кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитным полем [Текст] / В. В. Гладковський, О. А. Федорович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2017. – № 4-5. – С.40-44.
- Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников [Текст] / С. В. Дудин, В. А. Лисовский, А. Н. Дахов, В. М. Плетнёв // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2011. – № 1-2. – С. 42-48.
- Ефремов, А. М. Кинетика и режимы плазмохимического травления GaAs в условиях индукционного ВЧ разряда в CF_2Cl_2 [Текст] / А. М. Ефремов, Д. Б. Мурин, А. Е. Левенцов // Микроэлектроника. – 2014. – Т. 43, № 6. – С. 429-434.
- Ивентичев, М. Ю. Об определении вероятности гетерогенной рекомбинации атомов хлора на конструкционных материалах плазмохимических реакторов [Текст] / М. Ю. Ивентичев, Д. В. Ситанов, В. И. Светцов // Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 5. – С. 339-343.
- Плазмохимический реактор с пучково-плазменным разрядом [Текст] / Н. В. Исаев, И. Л. Клыков, В. В. Песков [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 1. – С. 124-127.
- Кондратьев, Н. А. Регулировка временной паузы между импульсами при инжекции двух сильноточных релятивистских электронных пучков в газовый объем плазмохимического реактора [Текст] / Н. А. Кондратьев, В. И. Сметанин // Приборы и техника эксперимента. – 2004. – № 3. – 135-138.
- Пащенко, В. Н. Применение газовых систем N-O-C-H для синтеза упрочняющих компонент в плазменных покрытиях [Текст] / В. Н. Пащенко // Автоматическая сварка. – 2015. – № 11. – С. 51-56.
- Федорович, О. А. Особенности плазмохимического травления кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей [Текст] / О. А. Федорович, М. П. Кругленко, Б. П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 46-49.
|