Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
травлення, травление
травление анизотропное
Документи:
Анизотропное травление канавок в кремнии с высоким аспектным отношением и апертурой 30-50 нм. в двухстадийном циклическом плазмохимическом процессе [Текст] / С. Н. Аверкин, В. Ф. Лукичев, Н. А. Орликовский [и др.] // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 2. – С. 98-108.
Голишников, А. А.
Исследование процесса глубокого анизотропного плазменного травления кремния в парогазовой смеси с пониженной полимеризационной способностью [Текст] / А. А. Голишников, Д. А. Костюков, М. Г. Путря // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3. – С. 14-19.
Толстенок, О. А.
Анизотропное травление кремниевых пластин при изготовлении тензопреобразователей [Текст] / О. А. Толстенок, Т. А. Холомина // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 1. – 60-63.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'