Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
травление кремния
Документи:
- Анизотропное травление канавок в кремнии с высоким аспектным отношением и апертурой 30-50 нм. в двухстадийном циклическом плазмохимическом процессе [Текст] / С. Н. Аверкин, В. Ф. Лукичев, Н. А. Орликовский [и др.] // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 2. – С. 98-108.
- Создание наноструктур электрохимическим травлением кремния с последующим насыщением Ni [Текст] / Д. И. Биленко, В. В. Галушка, Э. А. Жаркова [и др.] // Нанотехнологии: наука и производство. – 2011. – № 2. – С. 14-15.
- Галперин, В. А. Использование методов экспериментального и численного моделирования для исследования процесса сухого травления канавок в кремнии [Текст] / В. А. Галперин // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3. – С. 26-34.
- Гладковський, В. В. Исследование влияние кислорода на скорость и анизотропию глубинного травления кремния в плазмохимическом реакторе с управляемым магнитным полем [Текст] / В. В. Гладковський, О. А. Федорович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2017. – № 4-5. – С.40-44.
- Голишников, А. А. Исследование процесса глубокого анизотропного плазменного травления кремния в парогазовой смеси с пониженной полимеризационной способностью [Текст] / А. А. Голишников, Д. А. Костюков, М. Г. Путря // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3. – С. 14-19.
- Голишников, А. А. Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов [Текст] / А. А. Голишников, М. Г. Путря // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2014. – № 1. – С.36-41.
- Сичинский, Э. В. Особенности глубокого травления кремния через диэлектрическую маску в реакторе трансформаторно-связанной плазмы [Текст] / Э. В. Сичинский // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 1. – 93-94.
- Толстенок, О. А. Анизотропное травление кремниевых пластин при изготовлении тензопреобразователей [Текст] / О. А. Толстенок, Т. А. Холомина // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 1. – 60-63.
|