Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
окисление термическое
Документи:
- Александров, О. В. Модель термического окисления кремния с релаксацией коэффициента диффузии [Текст] / О. В. Александров, А. И. Дусь // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2009. – № 4. – С. 9-18.
- Калинин, С. В. Двумерное моделирование процесса термического окисления непланарных кремниевых поверхностей [Текст] / С. В. Калинин, А. В. Егоркин // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 2. – С. 134-146.
- Катеринчук, В. Н. Электрические и топологические свойства пленок оксидов, термически выращенных на подложках InSe [Текст] / В. Н. Катеринчук, В. Д. Ковалюк, В. В. Хомяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 5-6. – С. 51-53.
- Кислицин, М. В. Исследование процесса формирования пленки оксида кремния из раствора тетраэтоксисилана золь-гель методом [Текст] / М. В. Кислицин, М. А. Королёв, А. Ю. Красюков // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 2. – С. 17-22.
- Особенности термического окисления кремния, обусловленные структурным несоответствием на межфазной границе [Текст] / В. И. Соколов, В. В. Плотников, А. М. Скворцов [et al.] // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 5. – 17-21.
- Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния [Текст] / П. А. Форш Е. А. Форш, М. Н. Мартышов, В. Ю. Тимошенко, П. К. Кашкаров // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2009. – № 6. – С. 35-37.
|