Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету
Класифікатори
П
плазмохимический процесс
Документи:
Модифицированная установка для газодинамических исследований и технологических разработок [Текст] / А. Е. Зарвин, В. В. Каляда, Н. Г. Коробейщиков [и др.] // Приборы и техника эксперимента. – 2016. – № 2. – С. 127-134.
Шумилов, А. С.
Моделирование травления высокоаспектных канавок в Si в плазме смеси Cl_2/Ar [Текст] / А. С. Шумилов, И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 177-189.
Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'