Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
поверхность подложки
Документи:
- Губанова, Л. А. Использование подвижных диафрагм при формировании слоев переменной толщины [Текст] / Л. А. Губанова, В. Б. Карасев, Э. С. Путилин // Оптический журнал. – 2003. – 70, № 11. – 45-48.
- Колпаков, В. А. Измерение чистоты поверхности подложек методом трибометрии [Текст] / В. А. Колпаков, Н. А. Ивлиев // Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 5. – С. 129-134.
- Невлюдов, И. Ш. Экспериментальная проверка теоретических основ, положенных в основу технологии автоматизированного контроля шероховатости поверхности подложки [Текст] / И. Ш. Невлюдов, С. П. Новоселов, А. Г. Резниченко // Радиотехника. – 2011. – № 164. – С. 155-162.
|