Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
подложка диэлектрическая
Документи:
- Колпаков, В. А. Измерение чистоты поверхности подложек методом трибометрии [Текст] / В. А. Колпаков, Н. А. Ивлиев // Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 5. – С. 129-134.
- Исследование процесса очистки поверхности подложек с использованием методов термообработки во влажных условиях при получении структур КНИ [Текст] / А. Л. Суворов, Е. П. Прокопьев, А. Г. Залужный [et al.] // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 3. – 24-30.
- Ближнеполевая СВЧ-микроскопия нанометровых слоев металла на диэлектрических подложках [Текст] / Д. А. Усанов, А. В. Скрипаль, А. В. Абрамов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 5. – С. 83-90.
- Филиппов, В. В. Зондовые измерения распределения потенциала в анизотропных полупроводниковых кристаллах и пленках [Текст] / В. В. Филиппов, А. Н. Власов // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 1. – С. 48-53.
- Радиоволновые и оптические измерения толщины и электропроводности металлических пленок на полупроводниковых и диэлектрических подложках [Текст] / Ю. А. Чаплыгин, Д. А. Усанов, Ал.В. Скрипаль [et al.] // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2005. – № 1. – 68-77.
|