Електронний каталог науково-технічної бібліотеки Вінницького національного технічного університету
кремний-на-изоляторе
Документи:
- Оптимизация режимов ретроградного легирования кармана КНИ МОП-транзисторов СБИС [Текст] / А. В. Амирханов, С. И. Волков, А. А. Глушко, Л. А. Зинченко // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 252-257.
- Парфенов, Н. М. Анализ технологических особенностей при изготовлении структур КНИ МЭМС-преобразователей [Текст] / Н. М. Парфенов // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 3. – С. 235-239.
- Царев, А. В. Новый тип гетерогенных нанофотонных оптических волноводов на основе структур кремний-на-изоляторе [Текст] / А. В. Царев // Квантовая электроника. – 2007. – 37, № 8. – 775-776.
- Царев, А. В. Тонкие гетерогенные оптические волноводы на основе структур кремний-на-изоляторе и их использование в перестраиваемых оптических мультиплексорах [Текст] / А. В. Царев // Квантовая электроника. – 2008. – 38, № 5. – 445-451.
- Яфаров, Р. К. Релаксационная модификация морфологии атомно-чистой поверхности кристаллов кремния (100) после СВЧ плазменной обработки [Текст] / Р. К. Яфаров // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45, № 4. – С. 273-279.
|