621.38(072)
М54	Методичні вказівки до виконання самостійної роботи з дисципліни "Мікро- та наносистемна техніка" для студентів спеціальності 153 - "Мікро- та наносистемна техніка" [Електронний ресурс] / ВНТУ ; уклад. Б. П. Книш. – Електрон. текст. дані. – Вінниця : ВНТУ, 2019.    У посібнику наведено основні теоретичні дані до виконання самостійної роботи з відповідної дисципліни та рекомендовану літературу.

УДК 621.38.049.77+621.38-022.513.2](072)