| |
Олих, Я. М.
Акустостимулированное понижение температуры отжига радиационных дефектов в кристаллах Ge [Текст] / Я. М. Олих, И. А. Лисюк, Н. Д. Тимочко
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2004. – № 3. – 9-13.
Предложена методика отжига полупроводников в условиях воздействия ультразвука |
