| |
Крикунов, А. И.
Оптический контроль в технологии изготовления магниторезистивных спин-туннельных элементов [Текст] / А. И. Крикунов, Ф. А. Егоров
// Радиотехника и электроника. – 2004. – 49, № 8. – 995-998.
Метод основан на измерении коэффициентов отражения тонких пленок или слоистых структур на различных этапах технологического процесса |
