| |
Киреев, В. Ю.
Влияние аспектного отношения и площади вскрытия на параметры реактивного ионно-плазменного травления структур в монокремнии [Текст] / В. Ю. Киреев, В. Ю. Пашков, Р. Г. Хакимова
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 3. – 28-35.
Исследован процесс реактивного ионно-плазменного травления монокремния в газовой смеси HBr/SF6/He:O2 |
