| |
Выявление скрытых дефектов в МДП-элементах интегральных схем воздействием импульсного магнитного поля [Текст] / М. Н. Левин, А. В. Татаринцев, В. Р. Гитлин, О. А. Косцова
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 2. – 29-33.
Представлен способ обнаружения скрытых (латентных) технологических дефектов в кремниевых пластинах и МДП-элементах интегральных схем |
