| |
Особенности процесса травления SiO2 и БФСС в травителях на основе HF в системе рециркуляционной фильтрации [Текст] / И. В. Кирюшина, Л. З. Красавина, А. Д. Просий [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 2. – 17-22.
Проведено исследование скорости травления, уровня привносимой дефектности процесса и накопления ионных примесей в водных травителях на основе разбавленных растворов HF при травлении БФСС и SiO2 в режиме рециркуляционной фильтрации |
