| |
Строкань, Г. П.
Двухкамерная установка для напыления тонких пленок в поперечном высокочастотном разряде [Текст] / Г. П. Строкань
// Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 6. – 121-124.
Описана установка для напыления тонких пленок в поперечном высокочастотном разряде, состоящая из двух камер - основной и вспомогательной |
