| |
Ветошкин, В. М.
Использование высокочастотного магнетронного разряда для утилизации хлорсодержащих газов [Текст] / В. М. Ветошкин, А. А. Данилов, П. Н. Крылов
// Приборы и техника эксперимента. – 2003. – № 4. – 134-137.
Иссследована возможность утилизации с использованием высокочастотного магнетронного разряда хлорсодержащего газа, используемого для реактивно-ионного травления меди и алюминия |
