| |
Добровольский, Г. Г.
Алмазное микроточение кремния и германия [Текст] / Г. Г. Добровольский, П. Ю. Саксаеев
// Сверхтвердые материалы. – 2004. – № 1. – 46-51.
Рассмотрены иностранные публикации, описывающие процесс алмазного микроточения полупроводниковых материалов и изделий из них |
