| |
Толстенок, О. А.
Анизотропное травление кремниевых пластин при изготовлении тензопреобразователей [Текст] / О. А. Толстенок, Т. А. Холомина
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 1. – 60-63.
Представлены результаты изучения возможности формирования упругих элементов тензопреобразователей на структурах кремний-на-изоляторе в технологии изготовления интегральных схем при помощи анизотропного травления кремния |
