| |
Большаков, Н. А.
Исследование процессов механической обработки монокристаллов кремния связанным абразивом [Текст] / Н. А. Большаков, А. А. Раскин, Ю. М. Литвинов
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2004. – № 1. – 48-52.
Проведен предварительный анализ процессов калибрования, формирования основного и дополнительного срезов и разрезания монокристаллов кремния диаметром 100 и 150 мм инструментом со связанным абразивом |
