| |
Абрамов, Г. В.
Определение рациональных параметров устройств термообработки полупроводниковых пластин на несущей газовой прослойке [Текст] / Г. В. Абрамов, В. Б. Коваленко, Г. В. Попов
// Изв.ВУЗов.Машиностроение. – 2002. – № 7. – 60-67.
Приводятся результати исследований по созданию устройств термостабилизации полупроводникових пластин на этапе фотолитографии |
