| |
Генерационная активность и структурные дефекты приповерхностного слоя кремния [Текст] / В. Н. Давыдов, С. В. Беляев, В. В. Попов [и др.]
// Изв.ВУЗов.Физика. – 2003. – 46, № 11. – С. 66-72.
Методом релаксации неравновесной емкости в сочетании с металлографическим методом исследуется взаимосвязь между образованием областей аномальной генерации в МОП-структурах из кремния и структурными нарушениями решетки его приповерхностного слоя. |
