| |
Автоматизация фотометрического контроля толщины осаждаемых слоев [Текст] / С. В. Андреев, Н. Н. Карасев, Э. С. Путилин, А. О. Шакин
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 6. – 85-90.
Для автоматического контроля осаждения слоев разработана схема контроля с использованием двух источников излучения и двух пар фотоприемников |
