| |
Копейкин, А. Н.
Механизм влагочувствительности адсорбционно-емкостных сенсоров влажности на основе сорбционных пленок в системе SiO2-Al2O3 [Текст] / А. Н. Копейкин, А. И. Бутурлин, А. Я. Дикевич
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 6. – С. 36-42.
Рассмотрены механизм влагочувствительности и пути улучшения метрологических характеристик адсорбционно-емкостных сенсоров влажности |
