| |
Губанова, Л. А.
Использование подвижных диафрагм при формировании слоев переменной толщины [Текст] / Л. А. Губанова, В. Б. Карасев, Э. С. Путилин
// Оптический журнал. – 2003. – 70, № 11. – 45-48.
В работе рассмотрены возможности определения распределения толщины слоев по поверхности обложки с использованием диафрагмы, изменяющей свой радиус и расстояние от испарителя во времени |
