|
Особенности диффузионного перераспределения примесей в гетероструктурах [Текст] / В. Ф. Антюшин, А. В. Буданов, Е. А. Татохин, Я. А. Татохина // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 5. – 9-12.
Показано, что наличие градиента концентраций стехиометрических вакансий в переходном слое гетероструктур порождает движущую силу диффузии |