| |
Кулинич, О. А.
Исследование приповерхностных слоев кремния в структурах SiO2-Si [Текст] / О. А. Кулинич, М. А. Глауберман, Н. Н. Садова
// Изв.ВУЗов.Физика. – 2003. – 46, № 10. – 63-66.
С помощью современных методов исследований выявлены закономерности формирования приповерхностных слоев кремния в структурах оксид кремния-кремний, определен их структурный и примесный состав |
