| |
Шокина, Д. И.
Влияние химически активной среды отжига на структурные дефекты кремния [Текст] / Д. И. Шокина, В. Н. Кукин, И. В. Вернер
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 5. – 28-31.
Представлены результаты электронно-микроскопических исследований пластин кремния после ионной имплантации и отжига в нейтральной и химически активной водородной среде |
