| |
Мальцев, В. П.
Исследование процесса образования пленок фоторезистов методом дифференциальной сканирующей калориметрии [Текст] / В. П. Мальцев, А. С. Пашинкин, С. П. Тимошенков
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 5. – 23-27.
Для оценки адгезионных свойств фоторезистов проведена работа по калометрическим исследованиям теплоты пленкообразования фоторезиста на микрокалориметре |
