| |
Исследование барьерных свойств сплава Ta-W-N в составе многослойной системы металлизации ИС [Текст] / А. Г. Климовицкий, А. И. Мочалов, Д. Г. Громов [и др.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 5. – С. 3-8.
Представлены результаты исследования свойств сплава Ta-W-N с целью применения его в качестве материала диффузионно-барьерного слоя в системе многослойной металлизации с проводящим слоем на основе меди. |
