| |
Юзевич, В. М.
Механічні напруження в тонких плівках на монокристалічному кремнії [Текст] / В. М. Юзевич, Б. П. Коман
// Металлофизика и новейшие технологии. – 2003. – 25, № 6. – С. 747-761.
Експериментально, із застосуванням консольного методу, досліджено кінетику формування внутрішніх механічних напружень в тонких плівках міді на кремнієвих монокристалічних підкладках при різних швидкостях осадження. |
