| |
Исследование наноструктуры и механических свойств пленок TaSi(2) на кремнии [Текст] / С. И. Сидоренко, Ю. Н. Макогон, С. Н. Дуб [et al.]
// Металлофизика и новейшие технологии. – 2003. – 25, № 6. – 737-745.
Исследовано образование нанокристаллической структуры в пленках TaSi(2) на монокристаллическом кремнии |
