|
Влияние взаимного расположения элементов вакуумной установки на распределение коэффициента отражения градиентного зеркала [Текст] / Н. Р. Белашенков, В. Б. Карасев, Э. С. Путилин, П. Н. Фимин // Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2003. – 46, № 8. – 32-36.
Исследовано влияние погрешностей изготовления и расположения технологической оснастки вакуумной установки на точность распределения толщины градиентного оптического покрытия |