| |
Рощин, В. М.
Сверхтонкие проводящие пленки состава WxC для кремниевых кантилеверов сканирующей зондовой микроскопии [Текст] / В. М. Рощин
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 3. – 44-49.
Рассмотрены технология формирования и свойства сверхтонких пленок карбида вольфрама в качестве проводящих покрытий для кремниевых кантилеверов сканирующих зондовых микроскопов |
