| |
Новиков, С. Н.
Изменение потенциала поверхности кремниевых пластин при термодесорбции воды [Текст] / С. Н. Новиков, С. П. Тимошенков
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 3. – 36-43.
Измерен потенциал поверхности кремниевых стандартных пластин, подвергнутых термообработке в широком диапазоне температур методом статического конденсатора с ионизированным воздушным промежутком |
