| |
Исследование процессов ионизации алюминия в плазме СВЧ-ЭЦР разряда [Текст] / В. Н. Харченко, Н. П. Полуэктов, Ю. П. Царьгородцев [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 3. – 28-35.
Проведены исследования ионизации распыленных атомов алюминия в плазме СВЧ-ЭЦР разряда, используемого для металлизации субмикронных структур изделий микроэлектроники |
