| |
Кемерчев, Г. П.
Исследование эффекта накопления заряда в пленках поликристаллического кремния МДПДП-структур при импульсной фотонной обработке [Текст] / Г. П. Кемерчев
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 2. – 79-83.
Приведены результаты исследований эффекта накопления фотогенерированного заряда в пленках поликристаллического кремния после импульсной фотонной обработки МДПДП-структур с многослойным диэлектриком |
