| |
Исследование распределения электрического потенциала на поверхности микроэлектронных структур методами сканирующей зондовой микроскопии [Текст] / Г. А. Максимов, Д. О. Филатов, А. В. Круглов [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 1. – 84-92.
Проведено сравнительное изучение возможностей различных методик исследования распределения электрического потенциала на поверхности микроэлектронных структур методом электросиловой сканирующей зондовой микроскопии на воздухе и в вакууме |
