|
Лазерная технология формирования ближнепольных оптических зондов [Текст] / К. А. Атласов, В. П. Вейко, А. И. Калачев, Л. Н. Капорский // Изв.ВУЗов.Электроника. – 2003. – № 1. – 30-36.
Проведены исследования лазерной технологии формирования оптических зондов с целью изучения параметров процесса изготовления зондов, отвечающих за их качество |