| |
Серебряков, А. Г.
Пространственная дисперсия кристаллов как критическая проблема для глубокой УФ литографии [Текст] / А. Г. Серебряков, Ф. Бочьорт, ДЖ. Браат
// Оптический журнал. – 2003. – 70, № 8. – 45-49.
В статье рассматриваются математическое описание эффекта |
