|
Ивонин, И. В. Исследование элементарных процессов роста при газофазовой эпитаксии полупроводниковых соединений III-V [Текст] / И. В. Ивонин, И. А. Бобровникова // Изв.ВУЗов.Физика. – 2003. – 46, № 6. – 44-50.
Дан обзор работ, направленных на получение детальной информации об элементарных процессах роста, протекающих на фронте кристаллизации при газофазовой эпитаксии пленок полупроводниковых соединений III-V |