| |
Колин, Н. Г.
Ядерное легирование и радиационное модифицирование полупроводников: состояние и перспективы [Текст] / Н. Г. Колин
// Изв.ВУЗов.Физика. – 2003. – 46, № 6. – 12-20.
Представлен обзор развития в стране технологий ядерного легирования и радиационного модифицирования полупроводниковых материалов (Si, соединений III-V) |
