| |
Бурмистров, А. В.
Исследование течения газа в каналах вакуумных насосов и систем [Текст] / А. В. Бурмистров, С. И. Саликеев, К. Б. Панфилович
// Изв.ВУЗов.Машиностроение. – 2003. – № 2. – 19-25.
Получены экспериментально зависимости проводимости от давления для каналов, проведен расчет проводимости для этих каналов с помощью метода Монте-Карло |
