| |
Визуализация дефектов на поверхности кремния с использованием нематических жидких кристаллов [Текст] / С. Ю. Керпелева, В. Х. Кудоярова, Е. И. Теруков, М. Г. Томилин
// Оптический журнал. – 2003. – № 7. – 71-73.
Показана зависимость дефектности поверхности образцов от технологии их получения |
