| |
Исследование процесса очистки поверхности подложек с использованием методов термообработки во влажных условиях при получении структур КНИ [Текст] / А. Л. Суворов, Е. П. Прокопьев, А. Г. Залужный [et al.]
// Изв.ВУЗов.Электроника. – 2002. – № 3. – 24-30.
Исследованы процессы получения поверхности подложек кремния с заданным химическим составом, ее активирования и модифицирования, заключающиеся в предварительной очистке с применением химической обработки методами погружения в растворы и воздушно-капельного распыления растворов в кислотном процессоре "Mercury MP" |
