| |
Моделирование процессов бесконтактного химико-механического изготовления подложек полупроводников [Текст] / Н. Н. Григорьев, М. Ю. Кравецкий, Г. А. Пащенко [et al.]
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2003. – № 2. – 36-40.
Разработана модель операций безконтактного химико-механического полирования и химической резки |
