| |
Расчет частотной зависимости диэлектрических характеристик тонких пленок системы HfO(2)-Hd(2)O(3) [Текст] / А. И. Казаков, А. В. Андриянов, В. С. Миронов, О. В. Поляруш
// Технология и конструктирование в электронной аппаратуре. – № 1. – С. 52-54.
Предложена методика расчета параметров пленок многокомпонентной системы HfO(2)-Nd(2)O(3). |
