Опис документа

Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

Формуляр

Опис документа

    Скворцов, А. М.
    Конструирование подложек БИС [Текст] / А. М. Скворцов
    // Изв.ВУЗов.Приборостроение. – 2002. – 45, № 4. – 57-64.

Рассматриваются процессы дефектообразования в кремниевых подложках при изготовлении БИС

УДК 621.382.049.77.14:621.315.592

Теми документа