| |
Новосядлый, С. П.
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС [Текст] / С. П. Новосядлый
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 6. – 57-63.
Приведены результаты исследований высокочастотных плазменных процессов осаждения и травления функциональных слоев при формировании субмикронных структур БИС |
