| |
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" [Текст] / Г. В. Савицкий, А. Ю. Бончик, И. И. Ижнин [et al.]
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 6. – 45-47.
Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры |
