| |
Использование низкоразмерных гетероструктур соединений A(3)B(5) в датчиках давления [Текст] / И. Е. Марончук, А. Д. Кучерук, С. Ю. Ерохин, И. В. Чорный
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – № 6. – 38-43.
Продемонстрирована возможность создания различных типов датчиков давления на низкоразмерных структурах. Представлены экспериментальные результаты исследования эпитаксиальных слоев |
